極大規模集成電路制造裝備及成套工藝國家科技重大專項2014年度項目申報

5.1項目（課題）責任單位和聯合單位、團隊的基本情況（包括與項目（課題）實施相關的實力和基礎，以往的業績和成就，承擔相關項目（課題）情況）

5.2 項目（課題）責任單位及聯合單位與國內外同類機構的優勢比較分析（完成項目（課題）預期目標的技術、人才、機制、設施設備優勢等）

所在單位

項目（課題）中職務及分擔的任務

累計為本項目（課題）工作時間（人月）

專  業

職稱/職務

出生日期

性別

姓  名

序號

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

5.4項目（課題）負責人及主要骨干人員的情況(從事過的主要相關研究及所負責任和作用，相關研究和產業化成果、發明專利和獲獎情況，在國內外主要刊物上發表論文情況，特別是與本項目（課題）相關的研究成果情況等)

5.5項目（課題）主要骨干人員目前承擔其它相關國家科技計劃項目（課題）情況（請填寫下表,如有未盡事宜應進行說明）

姓名

承擔項目（課題）名稱

項目（課題）經費數

（萬元）

項目（課題）開始

時間

項目（課題）結束

時間

所屬科技

計劃

其他說明事項：